探針是三坐標測量機的一部分，主要用來觸測工件表面，使得測頭的機械裝置移位，產生信號觸發并采集一個測量數據。三坐標一般的探針都是由一個桿和紅寶石球組成。
三坐標測量機的探針有幾個主要專業術語：
1）：有效工作長度 (EWL)
2）：桿直徑
3）：總長（指的是從探針后固定面到測尖中心的長度）
4）：測針直徑
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